株式会社電子応用 AEC Corporation

用途別インデックス

	シリコンウエハのラッピング装置搭載


概要	スライスされたシリコンウエハの表面粗さ及び、ある一定の厚みまで絞り込む為に、 GAP-SENSORで±3μmの精度で研磨するラッピングマシンに搭載されております。
使用機器	PU-05

	ウエハ厚さ測定


概要	シリコンのインゴットからウエハに薄くスライスした材料の厚みを測定する時に使用しました。上定盤と下上盤のギャップをGAP-SENSORで捉えて、ウエハの厚みを割り出しています。 GAP-SENSORは05コイルタイプが主流で、稀に09コイルタイプも使用します。センサは、上定盤に埋め込む方式で運用しました。
使用機器	PU-05

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