TOP > 産業・工作機械業界
Application examples
シリコンウエハのラッピング装置搭載

シリコンウエハのラッピング装置搭載

測定目的 スライスされたシリコンウェハの表面の粗さ及び、ある一定の厚みまで絞り込むために、ギャップセンサで±3µm の精度で研摩するラッピングマシンに搭載されております。
使用機器 PU-05
ウエハ厚さ測定

ウエハ厚さ測定

測定目的 シリコンのインゴットからウェハに薄くスライスした材料の厚みを測定する時に使用しました。
上定盤と下定盤のギャップをセンサで捉えて、ウェハの厚みを割り出しています。
センサは、05 コイルタイプが主流で、稀に09 コイルタイプも使用します。
センサは上定盤に埋め込む方法で運用しました。
使用機器 PU-05