-250℃耐久設計液体水素用極低温センサ
熱電対内蔵でセンサ温度状態を把握
| 使用環境 | センサシール面まで | 液体窒素雰囲気 |
| センサシール面以後 | 大気中 |
| 被測定対象物 | SCM440 |
| 測定範囲 | 0~1.8m(a0=0.05mm) |
| 出力電圧 | -5V~+4V(at 23℃) |
| 出力直線性 | 常温レンジ | 0.0~0.2㎜:±3.0%/FS,0.2~1.6㎜:±1.0%/FS | 1.6~1.8㎜±3.0%/FS |
| 極低温レンジ(-196℃において校正) | 0.0~0.2㎜:±3.0%/FS,0.2~1.6㎜:±1.0%/FS | 1.6~1.8㎜±3.0%/FS |
| 分解能 | 0.8μm at 1mm |
| 周波数特性 | DC~30kHz(at 23℃) |
| 出力直線性試験 | 23℃、-196℃(液体窒素中) |
| 使用温度範囲 | センサシール面まで | -196℃~+55℃ |
| センサシール面以後 | 0℃~+55℃ |
| 電源 | AC85~264V 47~440Hz 10VA |



